真空的通俗定義指的是空間中的壓力低于標準大氣壓力時的狀態。 真空閥指的是用在真空系統中的鐵王閥門，其作用通常為隔離真空區域或控制氣體進出量。
由于真空環境基本貫穿半導體制造過程始終，因此真空閥在 半導體設備中也有著普遍而廣泛的應用。 真空閥和普通閥門在類型上沒有本質區別，按作用劃分主要有隔離閥、控制閥 （調節閥）、傳輸閥、泄壓閥/排氣閥、氣體計量閥、止回閥等，在半導體設備的 真空系統中尤其是隔離閥、控制閥、傳輸閥應用較多；其中，隔離閥和控制閥根 據工作方式又包括閘閥、角閥、蝶閥、球閥、擺閥等。
具體來看，隔離閥起隔絕/接通作用，如可用于連接真空泵，在其運作與否時起 到禁止/允許氣體進入真空泵系統的作用；控制閥主要起到控制氣體流量和壓力 的作用。
從實際應用來看，隔離閥采用＊多的主要為角閥和閘閥。 閘閥的啟閉件為閘板，閘板運動方向與介質流動方向垂直，通過閘板的升降可以 起到隔絕/接通作用，通常只作全開/全閉狀態，是隔離閥的理想選擇，而較少用 作控制作用。閘閥可用于腔體和真空泵之間。
角閥的氣體通路通常呈直角，主要可用于真空系統中的排氣管路和抽氣系統等的 連接，如用于主泵（通常為分子泵）和前級泵（通常為干泵）之間（即前級管路） 或腔體和前級泵之間（即粗抽或預真空管路）。角閥常作為隔離閥，尤其適用于 嚴苛的環境下，并具有出色的可靠性，也可具備控制作用。
控制閥用在真空腔體和分子泵之間，起到調節流量和壓力的作用。控制閥采用多的主要為擺閥（鐘擺閥），而蝶閥等也可以起到控制作用。 擺閥的啟閉件通過如鐘擺般的旋轉運動來實現隔離和控制作用，具有設計緊湊、 振動小、啟閉平穩、能有效避免產生顆粒的特點，被廣泛用作控制閥。
蝶閥的閥瓣呈圓盤形，圍繞其中軸旋轉，旋角大小便是閥門的開閉度，既可作為 隔離閥，提供與閘閥同樣可靠的真空隔離的同時對占用空間要求較低，適用于緊 湊空間的隔離；又可作為控制閥，實現快速精確的調節。
此外，球閥的啟閉件是帶有圓形通道的球體，繞垂直于通道的軸線旋轉，球體隨 閥桿轉動從而達到啟閉通道的目的。球閥適用的壓力范圍廣，從高真空到低真空 等均可使用，同時在帶有腐蝕性介質的或者高溫的系統中也均可適用。
傳輸閥是用于連接真空腔室的長方形截面的閥門，可將物體（如晶圓）從一個腔 室傳送到另一個腔室，尤其是在傳輸腔和工藝腔之間需要用到，因此傳輸閥是多 腔室系統的理想選擇。
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