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1.鐵王閥門垂直安裝的減壓閥組，一般沿墻設置在距地面適宜的高度;水平安裝的減壓閥組，一般安裝在較久性操作平臺上。2.應用型鋼分別在兩個控制閥(常用于截止閥)的外側載入墻內，構成托架，旁通管也卡在托架上，找平找正。3.減壓閥應直立地安裝在水平管道上，不得傾斜，閥體上的箭頭應指向介質流動方向，不得裝反。4.兩側應裝設截止閥和高、低壓壓力表，以便觀察閥前后的壓力變化。減壓閥后的管道直徑應比閥前進口管徑大2#-3#，并裝上旁通管以便檢修。5.薄膜式減壓閥的均壓管，應連接在低壓管道上。低壓管道，應設置安全閥，以保證系統的安全運行。6.用于蒸汽減壓時，要設置泄水管。對凈化程度要求較高的管道系統，在減壓閥前設置過濾器。7.減壓閥組安裝結束后，應按設計要求對減壓閥、安全閥進行試壓、沖洗和調整，并做出調整后的標志。8.對減壓閥進行沖洗時，關閉減壓器進口閥，打開沖洗閥進行沖洗。

1、為什么雙座閥小開度工作時容易振蕩？　　鐵王閥門對單芯而言，當介質是流開型時，閥穩定性好；當介質是流閉型時，閥的穩定性差。雙座閥有兩個閥芯，下閥芯處于流閉，上閥芯處于流開，這樣，在小開度工作時，流閉型的閥芯就容易引起閥的振動，這就是雙座閥不能用于小開度工作的原因所在。2、為什么雙密封閥不能當作切斷閥使用？　　雙座閥閥芯的優點是力平衡結構，允許壓差大，而它突出的缺點是兩個密封面不能同時良好接觸，造成泄漏大。如果把它人為地、強制性地用于切斷場合，顯然效果不好，即便為它作了許多改進（如雙密封套筒閥），也是不可取的。3、什么直行程調節閥防堵性能差，角行程閥防堵性能好？　　直行程閥閥芯是垂直節流，而介質是水平流進流出，閥腔內流道必然轉彎倒拐，使閥的流路變得相當復雜（形狀如倒“S”型）。這樣，存在許多死區，為介質的沉淀提供了空間，長此以往，造成堵塞。角行程閥節流的方向就是水平方向，介質水平流進，水平流出，容易把不干凈介質帶走，同時流路簡單，介質沉淀的空間也很少，所以角行程閥防堵性能好。4、為什么直行程調節閥閥桿較細？　　它涉及一個簡單的機械原理：滑動摩擦大、滾動摩擦小。直行程閥的閥桿上下運動，填料稍壓緊一點，它就會把閥桿包得很緊，產生較大的回差。為此，閥桿設計得非常細小，填料又常用摩擦系數小的四氟填料，以便減少回差，但由此派出的問題是閥桿細，則易彎，填料壽命也短。解決這個問題，＊好的辦法就是用旅轉閥閥桿，即角行程類的調節閥，它的閥桿比直行程閥桿粗2～3倍，且選用壽命長的石墨填料，閥桿剛度好，填料壽命長，其摩擦力矩反而小、回差小。5、為什么角行程類閥的切斷壓差較大？　　角行程類閥的切斷壓差較大，是因為介質在閥芯或閥板上產生的合力對轉動軸產生的力矩非常小，因此，它能承受較大的壓差。6、為什么脫鹽水介質使用襯膠蝶閥、襯氟隔膜閥使用壽命短？　　脫鹽水介質中含有低濃度的酸或堿，它們對橡膠有較大的腐蝕性。橡膠的被腐蝕表現為膨脹、老化、強度低，用襯膠的蝶閥、隔膜閥使用效果都差其實質就是橡膠不耐腐蝕所致。后襯膠隔膜閥改進為耐腐蝕性能好的襯氟隔膜閥，但襯氟隔膜閥的膜片又經不住上下折疊而被折破，造成機械性破壞，閥的壽命變短。現在＊好的辦法是用水處理專用球閥，它可以使用到5～8年。7、為什么切斷閥應盡量選用硬密封？　　切斷閥要求泄漏越低越好，軟密封閥的泄漏是＊低的，切斷效果當然好，但不耐磨、可靠性差。從泄漏量又小、密封又可靠的雙重標準來看，軟密封切斷就不如硬密封切斷好。如全功能超輕型調節閥，密封而堆有耐磨合金保護，可靠性高，泄漏率達10～7，已經能夠滿足切斷閥的要求。8、為什么套筒閥代替單、雙座閥卻沒有如愿以償？　　20世紀60年代問世的套筒閥，70年代在國內外大量使用，80年代引進的石化裝置中套筒閥占的比率較大，那時，不少人認為，套筒閥可以取代單、雙座閥，成為第二代產品。到如今，并非如此，單座閥、雙座閥、套筒閥都得到同等的使用。這是因為套筒閥只是改進了節流形式、穩定性和維護好于單座閥，但它重量、防堵和泄漏指標上與單、雙座閥一致，它怎能取代單、雙座閥呢？所以，就只能共同使用。9、為什么說選型比計算更重要？　　計算與選型比較而言，選型要重要得多，復雜得多。因為計算只是一個簡單的公式計算，它的本身不在于公式的精確度，而在于所給定的工藝參數是否準確。選型涉及到的內容較多，稍不慎，便會導致選型不當，不僅造成人力、物力、財力的浪費，而且使用效果還不理想，帶來若干使用問題，如可靠性、壽命、運行質量等。

(1) 自動閥是指不需要外力驅動，而是依靠介質自身的能量來使閥門動作的鐵王閥門。如安全閥、減壓閥、疏水閥、止回閥、自動調節閥等。(2) 動力驅動閥：動力驅動閥可以利用各種動力源進行驅動。電動閥：借助電力驅動的閥門。氣動閥：借助壓縮空氣驅動的閥門。液動閥：借助油等液體壓力驅動的閥門。此外還有以上幾種驅動方式的組合，如氣-電動閥等。(3) 手動閥：手動閥借助手輪、手柄、杠桿、鏈輪，由人力來操縱閥門動作。當閥門啟閉力矩較大時，可在手輪和閥桿之間設置此輪或蝸輪減速器。必要時，也可以利用萬向接頭及傳動軸進行遠距離操作。綜上所述，閥門分類方法是很多的，但主要是按其在管路中所起的作用進行分類。工業和民用工程中的通用閥門可分成11類，即閘閥、截止閥、旋塞閥、球閥、蝶閥、 隔 膜閥、止回閥、節流閥、安全閥、減壓閥和疏水閥。其他特殊閥門，如儀表用閥、液壓控制管路系統用閥，各種化工機械設備本體用閥等。

真空的通俗定義指的是空間中的壓力低于標準大氣壓力時的狀態。 真空閥指的是用在真空系統中的鐵王閥門，其作用通常為隔離真空區域或控制氣體進出量。由于真空環境基本貫穿半導體制造過程始終，因此真空閥在 半導體設備中也有著普遍而廣泛的應用。 真空閥和普通閥門在類型上沒有本質區別，按作用劃分主要有隔離閥、控制閥 （調節閥）、傳輸閥、泄壓閥/排氣閥、氣體計量閥、止回閥等，在半導體設備的 真空系統中尤其是隔離閥、控制閥、傳輸閥應用較多；其中，隔離閥和控制閥根 據工作方式又包括閘閥、角閥、蝶閥、球閥、擺閥等。具體來看，隔離閥起隔絕/接通作用，如可用于連接真空泵，在其運作與否時起 到禁止/允許氣體進入真空泵系統的作用；控制閥主要起到控制氣體流量和壓力 的作用。從實際應用來看，隔離閥采用＊多的主要為角閥和閘閥。 閘閥的啟閉件為閘板，閘板運動方向與介質流動方向垂直，通過閘板的升降可以 起到隔絕/接通作用，通常只作全開/全閉狀態，是隔離閥的理想選擇，而較少用 作控制作用。閘閥可用于腔體和真空泵之間。角閥的氣體通路通常呈直角，主要可用于真空系統中的排氣管路和抽氣系統等的 連接，如用于主泵（通常為分子泵）和前級泵（通常為干泵）之間（即前級管路） 或腔體和前級泵之間（即粗抽或預真空管路）。角閥常作為隔離閥，尤其適用于 嚴苛的環境下，并具有出色的可靠性，也可具備控制作用。控制閥用在真空腔體和分子泵之間，起到調節流量和壓力的作用。控制閥采用多的主要為擺閥（鐘擺閥），而蝶閥等也可以起到控制作用。 擺閥的啟閉件通過如鐘擺般的旋轉運動來實現隔離和控制作用，具有設計緊湊、 振動小、啟閉平穩、能有效避免產生顆粒的特點，被廣泛用作控制閥。蝶閥的閥瓣呈圓盤形，圍繞其中軸旋轉，旋角大小便是閥門的開閉度，既可作為 隔離閥，提供與閘閥同樣可靠的真空隔離的同時對占用空間要求較低，適用于緊 湊空間的隔離；又可作為控制閥，實現快速精確的調節。此外，球閥的啟閉件是帶有圓形通道的球體，繞垂直于通道的軸線旋轉，球體隨 閥桿轉動從而達到啟閉通道的目的。球閥適用的壓力范圍廣，從高真空到低真空 等均可使用，同時在帶有腐蝕性介質的或者高溫的系統中也均可適用。傳輸閥是用于連接真空腔室的長方形截面的閥門，可將物體（如晶圓）從一個腔 室傳送到另一個腔室，尤其是在傳輸腔和工藝腔之間需要用到，因此傳輸閥是多 腔室系統的理想選擇。

按動力分自動閥：依靠介質自身力量進行動作的鐵王閥門。如止回閥、減壓閥、疏水閥、安全閥等。驅動閥：依靠人力、電力、液力、氣力等外力進行操縱的閥門。如截止閥、節流閥、閘閥、碟閥、球閥、旋塞閥等。按結構特性分按用途分開斷閥：切斷或接通管路介質。如截至閥、閘閥、球閥、旋塞閥等；調節閥：調節介質的壓力或流量。如減壓閥、調節閥；止回閥：防止介質倒流。如止回閥。分配閥：改變介質的流向，起分配作用。如三通旋塞、三通截止閥等。安全閥：壓力超限定數值時，排放多余的介質，保證設備安全。如安全閥、事故閥；阻氣排水閥：留存氣體、排除凝結水，如疏水閥。開斷閥：切斷或接通管路介質。如截至閥、閘閥、球閥、旋塞閥等；調節閥：調節介質的壓力或流量。如減壓閥、調節閥；止回閥：防止介質倒流。如止回閥。分配閥：改變介質的流向，起分配作用。如三通旋塞、三通截止閥等。安全閥：壓力超限定數值時，排放多余的介質，保證設備安全。如安全閥、事故閥；阻氣排水閥：留存氣體、排除凝結水，如疏水閥。按操縱方法分手動閥門:借助手輪、手柄、杠桿、鏈輪、齒輪、蝸輪等，由人力來操縱的閥門。電動閥門:借助電力來操縱的閥門。氣動閥門:借助壓縮空氣來操縱的閥門。液動閥門:借助水、油等液體，傳遞外力來操縱的閥門。按壓力分真空：壓力小于1公斤/厘米2的閥門。低壓：公稱壓力小于16公斤/厘米2的閥門。中壓：公稱壓力25－64公斤/厘米2的閥門。高壓：公稱壓力100－800公斤/厘米2的閥門。超高：公稱壓力達到或大于1000公斤/厘米2的閥門。按介質溫度分普通閥門：－40至450℃（介質溫度）}的閥門。高溫閥門：450至600℃（介質溫度）的閥門。耐熱閥門：600℃以上（介質溫度）的閥門。低溫閥門：－40至－70℃（介質溫度）的閥門。深冷閥門：－70至－196℃（介質溫度）的閥門。超低溫閥門：－196℃以下（介質溫度）的閥門。按公稱通徑分小口徑：公稱通徑小于40毫米的閥門。中口徑：公稱通徑50至300毫米的閥門。大口徑：公稱通徑350至1200毫米的閥門。特大口徑：公稱通徑大于1400毫米的閥門。